Atualmente muitas pesquisas na indústria do petróleo estão direcionadas a proteção contra a corrosão. Uma alternativa para minimizar esse problema é a deposição de filmes finos, principalmente os nitretos de metais de transição, pois esses apresentam grande estabilidade química. Dentre vários revestimentos utilizados, o TiN tem destacado-se, por apresentar alta dureza e satisfatórias propriedades tribológicas. Porém, pesquisadores vêm propondo melhorias, como por exemplo, adicionar silício ao TiN sendo que estudos recentes mostram que revestimentos de TiN/Si exibiram propriedades superiores as do TiN puro. Este trabalho visa depositar, pelo método de deposição magnetron sputtering reativo revestimentos de TiN puro e com diferentes concentrações de Si e caracterizá-los por diversas técnicas de caracterização.